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使用高速振镜扫描系统，发布配合水流辅助装置，可以进行小锥度（0.15°）和平均圆度大于0.99的钻孔。（c）优化参数下切割截面的三维轮廓图，山东省人放大倍数500×图3不同脉冲能量（E）和辐照时间（t）下微晶玻璃表面的光学显微图像图4高斯光束与超低膨胀微晶玻璃作用机理示意图（Tc，山东省人析晶起始温度。

通过光束调制和整形，民防门多产生贝塞尔光束，可以获得更高质量的加工表面。如：空部德国肖特生产的牌号为ZERODUR®ExpansionClass0EXTREME的产品，在0~50℃具有0.7ppb/℃的平均CTE。Tv，措并挥发温度）图5激光加工前（a,b），措并上表面切割边缘（c,d）和激光辐照区域（e,f）的微晶玻璃扫描电镜图像图6贝塞尔光束精密加工ULGC过程的物理机理示意图小结：我们系统研究了利用超快激光对商用超低膨胀微晶玻璃（ULGC）进行切割和钻孔加工时，加工参数变化对表面质量的影响。

通过详细研究超快激光与ULGC的相互作用过程，举助济社发现随着单脉冲能量或辐照时间的增加，光暗化、晶化、熔融、多孔泡沫以及汽化等典型特征相继出现。特别地，推助多孔泡沫区的形成，可以有效地调节由于两个不同特征区域之间热膨胀系数不匹配而产生的界面热应力。

超快激光加工作为一种新型加工方法，力经具有独特优势：由于脉冲宽度短于电子-声子耦合时间，在热量尚未扩散之前完成材料去除，显著减少热影响区。

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